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CIF Flash-Evac系列閃蒸成膜儀基于“快速溶劑揮發(fā)誘導成膜”原理研發(fā)生產的薄膜制備設備，通過真空環(huán)境加速溶劑蒸發(fā)，驅動溶質（如有機小分子、聚合物、金屬鹵化物等）快速自組裝形成均勻納米薄膜。設備具備智能控制、高效成膜與廣泛兼容等優(yōu)勢，廣泛應用于鈣鈦礦太陽能電池、OLED、柔性電子與傳感等前沿領域。
核心特點
u 智能集成控制：7英寸彩色觸控屏，支持中英文界面，實時監(jiān)測與調節(jié)工藝參數，可存儲20組配方，工藝全程可追溯。
u 雙模式靈活操作：集成PLC控制系統，支持手動/自動一鍵切換，適應多樣研發(fā)與量產場景。
u 高質量成膜性能：真空環(huán)境促進快速溶劑揮發(fā)與溶質有序排列，形成致密均勻、低缺陷的高質量薄膜。
u 氣體與環(huán)境控制：內置質量流量計（0–500 sccm），支持惰性氣體保護與HEPA過濾，有效防污，滿足高標準潔凈工藝需求。
u 廣泛兼容與高擴展性：支持多種基底（硅片/玻璃/ITO等）和功能層（電子/空穴傳輸層等）沉積，優(yōu)化器件性能與穩(wěn)定性。可選集成加熱臺（RT–200°C）。
u 工藝均勻性：調控溫度、真空度與揮發(fā)速率，實現大面積均勻成膜，解決多層器件互溶問題。
u 穩(wěn)定可靠運行：設備結構穩(wěn)固，可長時間連續(xù)工作，保障工藝一致性與重復性。
2024-07-26 
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